其中主轴轴承采用了空气轴承作为支承，研磨盘的端面跳动可在机床上自行修正，使其端面跳动控制在05μm以下刀具方面，采用金刚石砂轮，控制背吃刀量和进给量，在超精密磨床上，可以进行延性方式磨削，即纳米磨削即使是玻璃的表面也可以获得光学镜面2精密加工和超精密加工的发展趋势从长远发展的观点；三坐标测量机作为一种精密的测量仪器，如果维护及保养做得及时，就能延长机器的使用寿命，并使精度得到保障故障率降低 维护及保养规程 1三坐标测量机对环境要求比较严格，应按合同要求严格控制温度及湿度 2三坐标测量机使用气浮轴承，理论上是永不磨损结构，但是如果气源不干净，有油水或杂质，就会造成气浮轴承阻；区别一般的内外圆磨床不适用于精密零件的磨制，只是适用于加工一般的粗糙点的产品气静压高精度磨床适合精密零件的内外圆内外圆锥及端面超精密研磨加工由于工件轴砂轮电主轴采用高刚性气静压空气轴承主轴进口超精密预负荷十字交叉滚子导轨以及高分辨率的进给数显系统，因此加工精度大大超越了一般；1 X向横梁采用精密斜梁技术2Y向导轨采用独特的直接加工在工作台上的整体下燕尾槽定位结构3导轨方式采用自洁式预载荷高精度空气轴承组成的四面环抱式静压气浮导轨4驱动系统采用本产高性能DC直流伺服电机柔性同步齿形带传动装置，各轴均有限位和电子控制，传动更快捷运动性能更佳5Z向。

步枪制造者的精密追求 15 第二章 设计思想和技术 决定论 19 运动学设计 21 技术进步 24 三点支撑与弹性平均 28， 32 Abbe对准原则 33 精密机械中的热效应 35 误差分析 37 未来展望 37 第三章 精密工程要素 测量基准 40 结构材料选择 40 空气轴承技术 44 精；Tango454三坐标测量机 表面阳极化航空铝合金 高精度自洁式空气轴承 高精度进口光栅尺 精密三角梁专利技术 易学易用的REFLEX测量软件 主要特征横梁与 Z 轴采用表面阳极化航空铝合金，温度一致性极佳并降低了运动部件的质量，减少测量机在高速运行时的惯性三轴导轨均采用高精度自洁式空气轴承，运动更平稳。

1978年，“静压空气轴承”获全国科技大会奖1979年，“气浮陀螺加速度计”“三自由度气浮陀螺”均获国防科技重大成果二等奖著有精密机械传动精度与刻划技术当代质量管理和可靠性系统工程的论述工艺与新技术革命关于发展高技术武器装备的思考等丁一平1951年~，湖南省湘乡县人，1970年2。

精密切削与超精密加工的代表如金刚石切削，其刀具刃口圆弧半径的精细程度直接影响加工表面的粗糙度和光学镜面的反射率，如激光陀螺反射镜的9999%反射率要求，推动金刚石刀具不断锐化，甚至达到纳米级别的切屑厚度金刚石研磨机的改进也反映了这一趋势，如采用空气轴承的主轴轴承和微小跳动控制技术，使得。

超精密加工机床的主轴在加工过程中直接支持工件或刀具的运动，故主轴的回转精度直接影响到工件的加工精度因此可以说主轴是超精密加工机床中最重要的一个部件，通过机床主轴的精度和特性可以评价机床本身的精度目前研制开发的超精密加工机床的主轴中精度最高的是静压空气轴承主轴磁悬浮轴承主轴也越来越受到人们的重视，其；美国是开展超精密加工技术研究最早的国家，也是迄今处于世界领先地位的国家早在50年代末，由于航天等尖端技术发展的需要，美国首先发展了金刚石刀具的超精密切削技术，称为“SPDT技术”Single Point Diamond Turning或“微英寸技术”1微英寸=0025μm，并发展了相应的空气轴承主轴的超精密机床用于加工激光核聚变。